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產(chǎn)品展示/ Product display

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日本ARK高輸出型晶圓周邊曝光UV-LED光源

日本ARK高輸出型晶圓周邊曝光UV-LED光源
這款產(chǎn)品專門用于半導(dǎo)體晶圓周邊曝光，支持g線和i線光刻膠，并且具有高輸出能力

  • 產(chǎn)品型號：EW04S
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2025-10-23
  • 訪  問  量：41
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詳細(xì)介紹

日本ARK高輸出型晶圓周邊曝光UV-LED光源
日本ARK高輸出型晶圓周邊曝光UV-LED光源

這款產(chǎn)品專門用于半導(dǎo)體晶圓周邊曝光，支持g線和i線光刻膠，并且具有高輸出能力。以下是該產(chǎn)品的詳細(xì)信息：

產(chǎn)品特點

  • 通過獨特的光學(xué)設(shè)計，實現(xiàn)了超過7,000mw/cm2的高輸出。
  • 特別適合處理以前需要較長處理時間的厚膜光刻膠。
  • 能夠大幅縮短曝光處理時間，顯著提高晶圓處理數(shù)量。

規(guī)格

  • 使用環(huán)境溫度：5～40℃（無結(jié)露）
  • 電源電壓：單相 100～240V
  • 電源頻率：50/60Hz
  • 發(fā)光峰值波長：365±5nm
  • 光輸出穩(wěn)定性：±5％以內(nèi)
  • 初始紫外線強(qiáng)度：2000mw/cm2以上（在365nm波長下，距離掩模0.5mm處）
  • 強(qiáng)度分布均勻性：4×5mm區(qū)域內(nèi)10％以下
  • 紫外線發(fā)光源：UV-LED
  • 紫外線發(fā)光源壽命：20000小時（預(yù)計壽命，在驅(qū)動電流最大時）
  • 照射ON/OFF功能：UV-LED的ON/OFF控制（可通過遠(yuǎn)程和手動控制進(jìn)行點亮/熄滅）
  • 光量調(diào)整功能：通過調(diào)整UV-LED電流，光量調(diào)整范圍為20～100％
  • 外殼材質(zhì)：不銹鋼
  • 外形尺寸：150(W) × 200(D) × 192(H) mm
EW04S是一款高效、節(jié)能且環(huán)保的UV-LED光源，適用于半導(dǎo)體制造過程中的晶圓周邊曝光，能夠滿足高精度和高效率的生產(chǎn)需求。


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